Funktionsprinzip eines Lecksuchers mit Prüfgas

Ein moderner Helium- und/oder Wasserstoff-Prüfgaslecksucher arbeitet nach dem Prinzip der Massentrennung durch unterschiedliche Ablenkungsradien eines geladenen (ionisierten) Teilchens mit unterschiedlichen Massen in einem Magnetfeld. Daher wird ein sogenanntes Sektorfeld-Massenspektrometer verwendet, um die Helium- (oder Wasserstoffatome) von anderen Gasen zu trennen.

Spektrometerzelle

Um die richtigen Arbeitsbedingungen für das Sektorfeld-Massenspektrometer zu erreichen, wird ein Vakuumsystem mit Vor- und Turbomolekularpumpe benötigt. Diese Pumpengruppe wird verwendet, um den Betriebsdruck für das Massenspektrometer zu erreichen, aber die Turbopumpe schützt auch die Analysezelle (Massenspektrometer). Dazu hat der Lecksucher verschiedene Modi mit unterschiedlichen Einlässen an der Turbopumpe. Während der Grobleck-Modus am unteren Teil der Turbopumpe angebracht ist, ist der High-Sense-Modus mit der Oberseite der Pumpe verbunden. Dadurch wird sichergestellt, dass der Analysator im Falle eines großen Lecks vor einem großen Heliumstrom geschützt ist, aber dennoch die erforderliche Empfindlichkeit besitzt, um auch kleine Lecks zu erkennen. Dieses so genannte Gegenstromprinzip wurde von Pfeiffer Vacuum in den 1960er Jahren entwickelt und zeigt, warum die Turbopumpe für einen Helium- (oder Wasserstoff-) Lecksucher so wichtig ist.
 

Vakuumschema