마이크로 플로우(압력 테스트)

마이크로 플로우 기술의 중심에는 IGLS(지능형 기체 누출 감지 센서)와 IMFS(지능형 분자 흐름 감지 센서)가 있습니다. 이 두 유형의 센서는 유량, 압력 및 온도를 측정하여 결함 크기에 따른 리크율에 정비례하는 출력을 제공합니다. 마이크로 플로우 센서는 대기압 조건 이상의 압력 상태에서 다음 그림에 나와 있는 설명과 같이 사용됩니다

압력 조건에서 마이크로 플로우 센서를 사용한 에어 리크 테스트

테스트 대상인 유닛 또는 어셈블리의 공기가 누출되면, 손실된 공기가 마이크로 플로우 센서를 통해 보충되어 일정한 압력을 유지하게 됩니다. 이러한 손실은 부피 유량에 비례한 전기 신호를 생성합니다. 마이크로 플로우 센서는 UUT (unit under test)를 가압하는 데 사용되는 압력 저장소와 함께 작동합니다.

이 센서의 감도는 5 · 10^-4 mbar · l/s입니다. 대개의 경우 이러한 종류의 테스트 방법에는 간단한 고정 장치만 있으면 됩니다.
 

마이크로 플로우 설정의 기본 구조(E2를 사용한 예제)

*주요 응용분야 *

추가 예제는 제품 페이지 참조하십시오.

마이크로 플로우 제품 개요

고객 이점

• 테스트 속도 - 여타 방법보다 훨씬 빠름, 예를 들어 압력 강하 방식과 비교할 때 25 ~ 40 % 빠름
• 기존의 공기 테스트 기술보다 높은 감도 - 5 · 10^-4 mbar · l/s까지 각각 3 · 10^-3 sccm
• 환경 변화에 따른 영향 최소화 - 환경 변화로 인한 잘못된 결과 감소
• 높은 정확도 - 불량 부품을 통과할 위험 없이 항복점을 높여서 임계값을 설정할 수 있음
• 반복성 - 오류와 높은 비용 문제를 줄여줌
• 부품 크기에 민감하지 않음 - 여러 크기의 부품을 한 번에 설정해서 위험과 시간을 줄여줌
• 일상적인 보정이 필요 없음 – 추적 가능한 누출이 있는 안정적인 테스트 조건
• 직접 누출 유량 측정 - 누출을 정확하게 측정할 수 있는 마이크로 플로우 누출 측정 시스템
• 사용이 간단함 - 견고한 산업용 디자인