추적 기체 누출 감지기의 기능 원리

현대의 헬륨 및/또는 수소 추적 기체 누출 감지기는 자기장에서 서로 다른 질량으로 충전된 (이온화된) 입자의 서로 다른 편향 반경에 따라 질량을 분리하는 원리에 따라 작동합니다. 따라서 섹터 필드 질량 분석기라고 하는 장치가 헬륨 (또는 수소) 원자를 다른 기체로부터 분리하는데 사용됩니다.

분석기 셀

섹터 필드 질량 분석기가 정상적으로 작동되도록 하려면, 백업 펌프와 터보 분자 펌프가 있는 진공 시스템이 필요합니다. 이 펌핑 그룹은 질량 분석기의 작동 압력을 달성하는 데 사용되지만 터보 펌프에는 분석기 셀 (질량 분석기)을 보호하는 기능도 있습니다. 이를 위해서 리크 감지기에는 터보 펌프의 입구가 서로 다른 모드가 있습니다. 전체 누출 모드는 터보 펌프의 하단부에 부착되어 있고, 고감도 모드는 펌프의 상단에 연결되어 있습니다. 이렇게 하면 누출이 큰 경우 분석기가 거대한 헬륨 흐름으로부터 보호되지만 작은 누출도 감지하기 위해 필요한 감도를 유지할 수 있습니다. 역류 원리라고 하는 이 원리는 1960년대에 파이퍼 베큠에 의해 개발되었으며, 이 원리는 터보 펌프가 헬륨(또는 수소) 리크 감지기에서 대단히 중요한 역할을 한다는 사실을 보여줍니다.
 

진공 개략도