半导体工厂

半导体行业是许多高科技产品存在的基础。没有这一产业,现代传播设备中使用的内存芯片和处理器就无法生产出来。它们的生产过程需要极其洁净的真空条件并精确地进行监测。

普发真空ASM 390检漏仪在一半导体工厂中运行
普发真空ASM 390检漏仪在一半导体工厂中运行
 

在半导体生产设施(被称为“晶圆厂”)投入运行后,需要以测量压力上升的方式进行泄漏测试。只有系统的气密性得到了认可,才能批准该工艺流程。如果压力上升大于定义的阈值,则晶圆厂关闭,并启动泄漏检测以找出泄漏并将其修复。普发真空凭借其全面的售后服务体系,提供最佳专家支持(甚至为现场泄漏检测提供支持)。我们售后服务工程师之一的典型现场服务一览。

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