고성능 - 콘솔

ASM 192 T, ASM 192 T2D+

장점

  • 최대 40 m3/h의 보조 펌프 속도 및 최대 4.4 l/s의 헬륨 펌핑 속도 (192 T2D+ 버전에서 최대 50 m3/h)
  • 검사 챔버들의 최적 통합
  • 콘솔 형태

이점

  • 강한 시그널링 후에도 매우 짧은 펌핑 다운 시간과 빠른 복구 시간
  • 캡슐화 부품에 대한 사이클 주기 단축으로 비용적으로 효과적인 검사
  • 사용자 친화성이 높은 인체공학적 작업 공간

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