코팅 시스템

새 시스템의 설치 또는 기존 시스템의 정비 후에 종종 누출이 발생합니다. 대개의 경우에는 연결 오류 또는 잊어버렸거나 결함이 있는 실이 원인입니다. 이런 누출을 찾아내 기밀성 여부를 확인하려면 헬륨 누출 감지기의 정확한 조작이 중요합니다. 테스트 도중 최적화 가능성 뿐만 아니라 누출 테스트를 강조하는 물리적 현상에 대하여 더 많은 것을 알수록 실제로 헬륨 누출 감지기의 사용이 더 쉬워집니다. 이것은 또한 더 신뢰할 수 있는 측정 결과를 이끕니다. 다음 개요는 헬륨 누출 감지기의 올바른 조작과 진공 시스템에 관한 누출 테스트의 성공적인 구현에 대한 실용적인 정보를 제공합니다.

누출 감지기를 코팅 시스템에 연결할 때 무엇을 고려해야 할까요?

진공 시스템의 시운전 또는 유지보수 후 발생하는 리크는 종종 그 규모가 매우 큽니다. 리크가 특정 규모를 초과하면 시판되는 헬륨 누출 감지기를 더 이상 사용할 수 없습니다. 일반적으로 최대 작동
압력은 약 6 ~ 25 mbar입니다. 리크 규모가 크면 배기 시 아마도 이 압력에 도달하지 못할 수 있습니다. 그림 1은 Si~3~N₄ 코팅 시스 템을 보여줍니다. 유지보수 후에는 배기하는 동안 80 mbar의 압력
에 도달합니다. 이렇게 높은 작동 압력에서 리크를 감지하기 위해 파이퍼 베큠의 리크 감지기 ASM 340에서 정성적 대량 리크 감지 모드를 사용할 수 있으며, 이를 통해 현재 리크 위치를 찾아낼 수 있습니다.

Si~3~N₄ 코팅 시스템
 

헬륨 누출 감지기를 코팅 시스템 공정 펌프에 통합하여 리크 감지기를 지원합니다

누출 감지기가 진공 시스템의 전진공 라인에 연결되는 것이 이상적입니다. 깨끗한 환경에서 사용하도록 설계된 리크 감지기를 펌프 작동 중에 발생하는 압축 열로 인한 심한 열 응축으로부터 보호하기 위해 추가 공정 펌프를 사용해도 됩니다. 이 공정 펌프는 열 응축에 둔감하며, 모든 탈기체, 증기 및 섞인 입자를 배출하기도 합니다.

추가 공정 펌프를 사용하면 누출 감지기의 가용성을 증대시키고 자체 정비 간격을 크게 늘릴 수 있습니다. 결과적으로 작동 비용이 크게 감소합니다.