질량 추출(ATC)

마이크로 플로우 – 선도적인 에어 리크 테스트 기술

마이크로 플로우 기술은 누출에 의한 체적 유량을 측정합니다. 테스트할 부품에서 기체가 누출되면 장비는 기체 유량을 보충함으로써 동적 압력 균형을 유지합니다. 이와 같이 보충되는 기체가 센서를 통과하면서 기체 유량이 측정됩니다. 특허를 취득한 센서의 형상이 신호를 증폭하고 최저 5 · 10^-4 mbar · l/s의 매우 낮은 리크율까지 측정할 수 있습니다. 버퍼 체적의 사용과 주위 온도 및 압력에 대한 보상으로 주위 조건이 변화해도 높은 강건성을 유지할 수 있습니다.

질량 추출 - 추적 기체 없이 진공 상태에서의 리크 테스트 절차

질량 추출은 진공 상태에서 실시됩니다. 그 결과 진공 단열 효과로 인해 감지 한계 및 열적 디커플링이 향상됩니다. 이러한 유형의 테스트는 특히 캡슐화된 전자 어셈블리와 같은 패키징 또는 밀봉된 물건에 적합합니다. 테스트하는 동안 테스트 유닛은 진공챔버에 배치되는데 이 경우 진공챔버가 배기됩니다. 테스트 유닛의 리크율은 테스트 유닛에서 진공 저장소로 흐르는 유량에 의해 결정됩니다. 이 방법으로 최대 7 · 10^-7 mbar l/s의 감지 한계에 도달할 수 있습니다.

이 측정 원리를 적용한 다른 프로세스에서는 테스트 유닛의 내부가 배기되면서 흘러 드는 주변 공기가 측정됩니다. 이 방법의 경우 진공챔버가 필요 없기 때문에 테스트 장비의 비용을 절감할 수 있습니다.

핵심 역량

다른 공기 테스트 방법과 비교할 때 마이크로 플로우 및 질량 추출 기술의 주요 이점은 테스트 속도가 더 빠르고 환경 영향에 대한 민감도가 더 낮다는 점입니다. 이 밖에 감지 한계가 더 낮고 정확도는 더 높으며 재현성이 더 우수합니다. 최장 1년에 이르는 긴 보정 주기는 이 정량적 비파괴 테스트의 또 다른 이점입니다.

Advanced Test Concepts, Inc.

Pfeiffer Vacuum Technology AG는 2017년 2월 14일 미국 인디애나폴리스주에 본사를 둔 Advanced Test Concepts, Inc.(ATC, Inc.)의 지분 100%를 인수했습니다.
특허를 취득한 마이크로 플로우 기술을 기반으로 한 ATC, Inc.의 압력 리크 테스트 제품에 대한 자세한 내용은 ATC Micro-Flow를 참조하십시오.