Halbleiterfabriken

Viele Hightech-Produkte verdanken wir der Halbleiterindustrie. Ohne sie könnten die in den modernen Kommunikationsgeräten verwendeten Speicherchips und Prozessoren nicht produziert werden. Für deren Herstellungsprozess sind hochreine Vakuumbedingungen notwendig, die genauestens überwacht werden müssen.

Pfeiffer Vacuum Lecksucher ASM 390 bei der Arbeit in einer Halbleiterfabrik
Pfeiffer Vacuum Lecksucher ASM 390 bei der Arbeit in einer Halbleiterfabrik
 

So wird nach der Wartung einer Halbleiterproduktionsanlage – einer sogenannten Fab – eine Dichtheitsprüfung durch Druckanstiegsmessung durchgeführt. Erst wenn die Dichtheit der Anlage nachgewiesen ist, erfolgt die Freigabe des Prozesses. Ist der Druckanstieg größer als ein definierter Schwellenwert, wird die Anlage gesperrt. Dann wird mit der Lecksuche begonnen, um undichte Stellen zu lokalisieren und reparieren zu können. Pfeiffer Vacuum bietet mit seinem breiten Serviceportfolio die optimale Unterstützung durch Experten – auch für die Lecksuche vor Ort. Werfen Sie einen Blick über die Schulter eines unserer Servicetechniker beim Kundeneinsatz.

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