Beschichtungssysteme

Nach der Installation einer neuen Anlage oder der Wartung bestehender Anlagen treten nicht selten Leckagen auf. In vielen Fällen liegen die Ursachen hierfür in fehlerhaften Verbindungen oder defekten Dichtungen. Die richtige Handhabung von Helium-Lecksuchgeräten ist von entscheidender Bedeutung, um solche Leckagen zu finden und Anlagen auf Dichtheit zu prüfen. Je mehr über die der Dichtheitsprüfung zu Grunde liegenden physikalischen Phänomene und die Optimierungsmöglichkeiten während der Prüfung bekannt ist, desto einfacher ist der Einsatz von Helium-Lecksuchern in der Praxis. So werden außerdem zuverlässigere Messergebnisse erreicht. Der folgende Überblick gibt praktische Hinweise zum richtigen Umgang mit Helium-Lecksuchern und zur erfolgreichen Durchführung von Dichtheitsprüfungen an Vakuumanlagen.

Was ist beim Anschließen des Lecksuchers an eine Beschichtungsanlage zu beachten?

Leckagen, die nach der Inbetriebnahme oder Wartung von Vakuumanlagen auftreten, sind oftmals sehr groß. Ab einer bestimmten Leckgröße können marktübliche Helium-Lecksucher jedoch nicht mehr verwendet werden. Ihr maximaler Arbeitsdruck liegt in der Regel zwischen etwa 6 und 25 mbar. Liegen große Leckagen vor, kann dieser Druck unter Umständen beim Evakuieren nicht erreicht werden. Abbildung 1 zeigt eine Si~3~N4-Beschichtungsanlage. Nach einer Wartung wird beim Evakuieren lediglich ein Druck von 80 mbar erreicht. Um bei solch hohen Arbeitsdrücken dennoch eine Lecksuche durchführen zu können, kann beim Lecksuchgerät ASM 340 von Pfeiffer Vacuum ein Modus zur qualitativen Massivlecksuche eingesetzt werden, mit dessen Hilfe sich das vorliegende Leck lokalisieren lässt.

Si3N4 Beschichtungssystem
Si~3~N4 Beschichtungssystem
 

Einbindung des Helium-Lecksuchers in eine Beschichtungsanlage – Prozesspumpe zur Unterstützung des Lecksuchers

Idealerweise sollte der Lecksucher in der Vorvakuumleitung einer Vakuumanlage angeschlossen werden. Um zu verhindern, dass die beim Abpumpen entstehende Kompressionswärme den für Einsätze in sauberen Umgebungen konzipierten Lecksucher thermisch stark belastet, kann außer-dem eine zusätzliche Prozesspumpe eingesetzt werden. Diese ist gegen die thermische Belastung unempfindlich und pumpt zudem auch sämtliche Ausgasungen, Dämpfe und möglicherweise aufgewirbelte Partikel ab.

Die Verwendung einer zusätzlichen Prozesspumpe kann so die Verfügbarkeit des Lecksuchers steigern und seine Wartungsintervalle signifikant verlängern. Daraus resultieren deutlich verringerte Betriebskosten.

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