示踪气体泄漏探测器的功能原理

现代氦气和/或氢气示踪气体泄漏探测器的工作原理是对具有不同质量的带电（离子化）粒子，通过在磁场中的不同偏转半径进行质量分离。因此，所谓的扇形场质谱仪用于将氦（或氢）原子与其他气体分离。

质谱仪单元

为了创建正确的扇形场质谱仪工作条件，需要具有前级泵和涡轮分子泵的真空系统。该泵组用于实现质谱仪的工作压力，但涡轮分子泵也可保护分析仪单元（质谱仪）。为此，泄漏探测器具有不同的模式，在涡轮分子泵上具有不同的入口。当总泄漏模式连接到涡轮分子泵的底部时，高感测模式则连接到泵的顶部。这样可确保分析仪在大量泄漏的情况下免受大量氦气流影响，但仍具有检测小泄漏所需的灵敏度。
这叫做逆流原理，是由普发真空在 20 世纪 60 年代开发的，它说明了为什么涡轮分子泵对于氦气（或氢气）泄漏探测器如此重要。
 

真空装置